產(chǎn)品概述
普通的壓阻式壓力傳感器其敏感控測(cè)惠斯頓電橋的四個(gè)力敏點(diǎn)阻是用集成電路工藝制造的,電阻間用PN結(jié)相互隔離。由于受到PN結(jié)耐溫限制,最高使用溫度僅125°C,而實(shí)際上由于PN結(jié)反向漏電流隨溫度的指數(shù)上升關(guān)系,在溫度超過100°C后,傳感器性能已大大劣化,這限制了普通壓阻傳感器的可用溫度范圍。利用厚薄膜技術(shù)制作力敏電阻,可將使用溫度擴(kuò)展至125°C;利用多晶硅SOI技術(shù)制作力敏電阻,可將使用溫度擴(kuò)展至150°C;利用傳統(tǒng)SOS技術(shù)和先
進(jìn)的SOI技術(shù)可將使用溫度擴(kuò)展至180°C—350°C;利用最新的β相高溫力敏材料碳化硅與SOI技術(shù)的結(jié)合,可將使用溫度擴(kuò)展至450°C—850°C,本系列產(chǎn)品是利用德國(guó)HELM公司的國(guó)際先進(jìn)傳感器,配合高精度電子元件,經(jīng)嚴(yán)格的工藝過程裝配而成。
產(chǎn)品特點(diǎn)
◇ 全不銹鋼外殼,卓越的抗腐蝕性能
◇ 壓力測(cè)量范圍寬
◇ 溫度測(cè)量范圍寬,溫度誤差極小
◇ 工作穩(wěn)定 抗干擾能力強(qiáng)
◇ 可靠性高,雙膜片結(jié)構(gòu)
◇ 外形尺寸小,重量輕,類型齊全
◇ 反相極性過壓過流保護(hù)
◇ 測(cè)量介質(zhì)范圍廣
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